半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体器件顶级公测配合涉重废水处理工艺——MVR强制性要求循环往复零排工作
项目流程游戏背景
半导体芯片材料中高端首测顶目,规模较150立米米/天,是第一例半导体芯片材料首测一起涉重污废水处理方法 零排顶目。首测重要环节的镀镍、镀铜、引线前端框架清理会产生含镍含铜污废水处理方法 ,小区耍求"无尾水外排",产水都是造纸废水处理于产线。
生活饮用水特性与突破点
废污水以含镍为核心(质量浓度10–100毫克/升),伴一少部分铜、锌,pH上下波动大(2–12),还光刻胶残余物的一少部分化合物物。首测厂地点紧,的标准外理措施土地征用小;零排含意着浓水不许土石方太少,必定本土蒸发器成果开环。
净化处理工学院艺交通路线
整体结构走"分质整理 → 预处置除杂 → 耐腐蚀石雕文化沉淀除镍 → 脱水 → UF+两极RO → MVR禁止嵌套循环化掉 → 冷凝器水工业废水处理":
含镍线先调pH到10–11,加药氢脱色钠添加Ni(OH)₂凝固,后加混炼钠深层次气体吸附残存镍(混炼镍Ksp比氢脱色镍更小,就可以把镍压到0.1毫克/升下面);
滤渣出水出水经多媒质脱水+安全脱水后进UF,再进一級RO,产水马上回产线清洁;
RO浓水(含盐+稳定度天价属)进MVR禁止性要求重复减压蒸馏器,禁止性要求重复能扛高含盐结渣,减压蒸馏器自身带有上线冲洗,后易堵;
MVR冷却水赶回循环池体,蒸发掉残液委外焚烧处理或用作危险废弃物处理,整一个生产车间无液态氨外排。
重要的设施设备的特点说
MVR直接巡环相对来说平常降膜挥发,巡环气速高、导热面很容易结镍盐/碳酸盐垢,适用公测一些"蓄水量太大但水体杂"的场景中;混合式化撬装设计的概念征占比过去挥发塘+多效挥发工作方案小60%上面;臭味侧配合微生物滤池,把调试池和污泥干化间的臭味获取后降解塑料成CO₂和水,尽量避免公测厂紧挨着办公楼区的臭味投拆。
处理体验与高效益
喷水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,相对比较《化学镍污染问题物减排细则》表三;全不150万立方/天产水回收于测封产线清洁工作,取代等量新鮮水;垃圾(挥发残液+污泥干化)量比传统与现代"沉淀自己+减排"机制减约70%。对富士康侧,测封投资项目节能环保准入的卡点遭打通;