某半导体设备加工的企业因晶圆刷洗环节所产生含氨废渣，储水量200吨/天。废渣中除氟化物外还包含有氟化物和进样器血本属，办理一定的难度大。位置排放量规范需要氟化物＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 生活污水组分及原因 晶圆难以清理废气（包括来源地）：含高锰酸盐指数200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀多种工序废水处理工艺：含少量铜、镍等血本属，pH值起伏大 CMP磨细生活污水：含硅粉末及化学需氧量 进行处理加工制作工艺 环节 进行"药剂学放置+膜分离处理+折点氯化"组成加工： 预外理 ：污泥脱水CaCl2除氟，管控pH在7.5-8. 反渗透膜系统的 ：清除0.01μm之内科粒物 反固化浸提 ：将挥发酚浸提至1000mg/L以上内容 折点氯化 ：精密把控氯添加量，将挥发酚图片转换为N2 阳离子互转 ：质量保障高价属考核标准 终极功能 化学需氧量稳固＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 血本属含碳量少于检侧限 水中水回用率达75% 废水带来量降低40%