某半导体行业电子器件生产厂在晶圆加工厂时中，动用硅烷做出硅本质衍生，废气排放干洗塔生产高有机废气浓度含硅废气。废气存在pH起伏较大大（2-11）、硅水平高的优势，傳統治疗的办法易产生硅垢堵塞过一些问题。 废污水成份及來源 生产废水常见含量为： 溶水性硅酸盐 ：SiO₂氨水浓度达1000-1500mg/L 盐酸/氢脱色钠 ：清洗塔耐酸碱清洗液剩余的 颗粒状硅 ：納米级SiO₂溶液 痕量砷 ：工业原料残渣带往 除理加工过程步骤 自主创新分为"多级与+膜脱水+多效蒸发析出"加工： 特一级结合 ：用CaO调高pH至4-5，转成硅酸钙沉积，硅删去率60%。 二级考试采和 ：加Na₂CO₃将pH增加至9，进三步析出剩余时间硅，串联用镁剂除砷。 超滤膜设计 ：0.02μm瓷器膜滤水微米级硅粉末，通量稳定可靠在80LMH。 MVR蒸发掉器 ：萃取高盐废水处理方法，心得出Na₂SO₄副服务，水回收率超90%。 最中作用 总硅从1500mg/L减至5mg/L以上 砷份量从0.8mg/L调至0.01mg/L 操作系统无积灰行驶超越2年 每月收废浓盐酸钠尖晶石约800吨